Halbleiterherstellung

Folgende Punkte stellen eine kleine Auswahl der durchgeführten Projekte unserer Mitglieder dar.

• Integrierte Fertigungs- und Technologieplanung für mechatronische Produkte
• Entwicklung eines Vibrationsmessmoduls zur Überwachung von angetriebenen Lineareinheiten
• Dielektrisch isolierte Hochvolt-IC-Technologie
• Integrierte Hochvolt-Bauelemente und -IC´s
• Aufbautechniken für mechatronisch integrierte Leistungselektronik
• Hochtemperatur-Leistungselektronik für Kfz-Anwendungen
• Planung mechatronischer Produktionssysteme
• Werkzeug zur integrierten Entwicklung von mechatronischen Produktionssystemen
• Berührungslose Handhabung von flächigen Bauteilen der Halbleiterindustrie mittels Leistungsschall
• Technologiebaukasten Mikro-Mechatronik
• Fertigungsprozesse für mechatronische Produkte (SiC-Speicherplatten)