Fertigungsprozesse für mechatronische Produkte (SiC-Speicherplatten)

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Der hohe Bedarf an Festplattenspeichern wird durch die permanent steigenden Datenmengen weiter zunehmen. Leistungssteigerungen dieser Speichermedien sind aufgrund physikalischer Randbedingungen nur durch neue Substrate aus Keramik möglich. Gesamtziel des Teilprojektes ist die Entwicklung eines mehrstufigen und für hohe Durchsatzleistungen wirtschaftlichen Fertigungsverfahrens für Substratscheiben aus SiC-Keramik mit Siliziumoberfläche. Dies erfordert neue technologische Lösungsansätze für die Einzelprozesse der SiC-Substratproduktion im Hinblick auf Prozesssicherheit, Prozessanforderungen, erforderlichen Durchsatz, Automatisierbarkeit und Wirtschaftlichkeit.

Ansprechpartner: Dipl. Ing. Josef Zimmermann

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